GMP厂房是将一定空间范围内之空气中的微粒子,有害空气,细菌等之污染物排除,并将室内之温度,洁净度,室内压力,气流速度与气流分布,噪音振动及照明,静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度,温湿度及压力等性能之特性。
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
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等数ISO空气洁净 |
大于或等于表中粒径的最大浓度限值（P/m -空气） |
洁净等级美国联邦209E |
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0.1um |
0.2um |
0.3um |
0.5um |
1um |
5um |
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ISO Class1 |
10 |
2 |
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ISO Class2 |
100 |
24 |
10 |
4 |
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ISO Class3 |
1000 |
237 |
102 |
35 |
8 |
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1 |
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ISO Class4 |
10000 |
2370 |
1020 |
352 |
83 |
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10 |
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ISO Class5 |
100000 |
23700 |
10200 |
3520 |
832 |
29 |
100 |
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ISO Class6 |
1000000 |
237000 |
102000 |
35200 |
8320 |
293 |
1000 |
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ISO Class7 |
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352000 |
83200 |
2930 |
10000 |
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ISO Class8 |
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3520000 |
832000 |
29300 |
100000 |
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ISO Class9 |
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35200000 |
8320000 |
293000 |
300000 | |
